材料表面沉积超硬耐磨涂层

运用物理气相沉积方法，在材料表面沉积超硬耐磨涂层是提高材料表面耐磨性的有效方法。超硬耐磨材料的主要特征是具有高熔点和高硬度，如各种过渡族金属的氮化物、碳化物、氧化物、硼化物和立方氨化硼以及类金刚石等。目前，应用较成熟的有TiN, T:C等超硬耐磨涂层。

为了进一步提高涂层的耐磨性、各国科技工作者一方面研究复合耐磨涂层，如TIN+TC.另一方面研究多元涂层，如Ti(CN).本文主要研究多元涂层材料(Ti.Al)N的耐磨性。(n, A1) N呈面心立方结构，其实质是面向立方结构TiIN的Ti点阵位置上溶人部分AL原子而形成的新型涂层，但其抗氧化温度和酎磨性均优于TiN涂层-51。本文重点研究了工艺因素对(Ti, A1) N徐层耐磨性的影响及(Ti.A1)N涂层的磨损特征.